Jena: „Deutsche Zukunftspreis“ für EUV-Lithographie

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Preisgekrönte Forschung „made in Thüringen“: Der „Deutsche Zukunftspreis“ geht in diesem Jahr erneut an eine Innovation, die unter maßgeblicher Beteiligung von Forschern des Fraunhofer-Instituts für Angewandte Optik und Feinmechanik (IOF) entwickelt wurde. Gemeinsam mit den Unternehmen Zeiss (Oberkochen) und Trumpf (Ditzingen) entwickelte das IOF ein völlig neuartiges Verfahren zur Herstellung von Mikrochips – die „EUV-Lithographie“. Wissenschaftsminister Wolfgang Tiefensee gratulierte dem gesamten Entwicklerteam zum Gewinn des Preises, der heute (25.11.) in Berlin von Bundespräsident Frank-Walter Steinmeier übergeben wurde.

„Das ist eine absolut zukunftsweisende Entwicklung – und die Grundlage dafür wurde nicht zuletzt in Thüringen gelegt“, freut sich Tiefensee. Einmal mehr zeige sich: „Der Forschungsstandort Jena spielt in der ersten Innovationsbundesliga. Der Preis ist ein deutliches Signal für die hervorragenden wissenschaftlichen und technologischen Leistungen, die hier in Thüringen erbracht werden.“ Dazu beigetragen habe nicht zuletzt auch eine kontinuierliche, auf eine enge Verzahnung von Wissenschaft und Wirtschaft ausgerichtete Forschungspolitik in Thüringen. Das Fraunhofer-IOF in Jena erhält den Deutschen Zukunftspreis in diesem Jahr bereits zum dritten Mal nach 2007 und 2013.

Mit der EUV-Lithographie lassen sich mikroelektronische Bauteile herstellen, die wesentlich kleiner, energiesparender und zugleich leistungsfähiger sind als herkömmliche Mikrochips. Um das zu erreichen, arbeitet das neue Verfahren mit sehr kurzwelligem UV-Licht. Dies erlaubt es, wesentlich kleinere Strukturen zu erzeugen, die nur wenige Nanometer groß sind. Auf diese Weise können mehrere Milliarden Transistoren auf einer Fläche von der Größe einer Fingerkuppe integriert werden. Das Land unterstützt das IOF in Jena seit 1992 im Rahmen seiner institutionellen Forschungs- und Projektförderung. So finanziert das Land bis 2023 einen dritten Bauabschnitt zur Erweiterung des Institutsgebäudes mit 50 Prozent der Gesamtkosten in Höhe von 25 Millionen Euro. Zudem unterstützt das Land aktuell verschiedene Projekte im Bereich des Zukunftsfelds Quantenkommunikation.

Quelle

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